ОПИСАНИЕ СЕКЦИИ

В секции «Материалы микро- и наноэлектроники» рассматриваются вопросы:

— применения новых материалов для создания полупроводниковых приборов и устройств;

— использования новых материалов в технологии микро- и наноэлектроники;

— использование анизотропии свойств материалов для улучшения рабочих характеристик при разработке и изготовлении устройств;

— моделирования поверхностных свойств материалов, применяемых в технологии микро- и наноэлектроники;

— требований к материалам микроэлектроники при изготовлении устройств с наноразмерными структурами.

МОДЕРАТОРЫ СЕКЦИИ

Грибов Борис Георгиевич,
член-корреспондент РАН,
доктор химических наук,
ФГУП «ГНИИ ОСЧМ»

Бокарев Валерий Павлович,
кандидат химических наук,
АО «НИИМЭ»

РЕГИСТРАЦИЯ