ОПИСАНИЕ СЕКЦИИ

Данная секция охваты­вает тематику технологий и компонен­тов микро- и на­ноэлектроники:
— технологии изготовления интегральных микросхем;
— технологии изготовления полупроводниковых приборов;
— исследование и разработка элементов интегральных микросхем;
— применение новых материалов в технологии изготовления микросхем и полупроводниковых приборов;
— исследование и разработка отдельных технологических процессов;
— исследование и разработка технологии интеграции элементов кремниевых ИС и СВЧ компонентов А3В5.

МОДЕРАТОРЫ СЕКЦИИ

Шелепин Николай Алексеевич,
доктор технических наук, профессор,
АО «НИИМЭ»

Путря Михаил Георгиевич,
доктор технических наук, профессор,
НИУ МИЭТ

РЕГИСТРАЦИЯ