д.т.н. Уваров Илья Владимирович, ведущий научный сотрудник ОФТИ им. К. А. Валиева, НИЦ «Курчатовский институт»
д.т.н. Тимошенков Сергей Петрович, директор Института НМСТ НИУ МИЭТ
Цели и задачи
Объединение заказчиков, разработчиков и представителей технологических компаний на одной площадке с целью обсуждения проблем создания отечественной элементной базы на основе технологии МЭМС.
Аннотация
Микроэлектромеханические системы прочно заняли нишу на мировом рынке электронных компонентов, но доля российских производителей на этом рынке невелика. Спрос на изделия МЭМС растёт взрывными темпами благодаря всеобщей тенденции к миниатюризации техники и развитию автономных беспилотных систем, требующих сверхкомпактных инерциальных платформ и других приборов. Разработка и изготовление МЭМС – сложный процесс, использующий различные материалы и традиционное для микроэлектроники оборудование, а также специализированное оборудование для микросистем. Отечественные предприятия способны изготавливать чувствительные элементы и управляющие интегральные схемы, а также осуществлять их сборку для получения конечного продукта.
Также в России существуют научные коллективы и дизайн-центры, способные предложить оригинальные идеи. Тем не менее, развитие МЭМС в России идёт низкими темпами. Процессу препятствует ряд проблем, требующих глубокого понимания, обсуждения и решения. Круглый стол направлен на обсуждение возможностей российских разработчиков МЭМС (ВУЗовской науки, исследовательских и производственных организаций) для перелома сложившейся тенденции доминирования иностранных компонентов на отечественном рынке. Он будет способствовать кооперации предприятий микроэлектронной отрасли с целью создания отечественной элементной базы на основе микросистемной техники. В рамках круглого стола докладчики поделятся опытом развития тематики МЭМС на предприятиях и в ВУЗах, обсудят основные проблемы и наметят пути преодоления трудностей.
Приглашены к выступлению:
к.т.н. Козлов Дмитрий Владимирович, начальник сектора микромеханики АО «Российские космические системы». Тема доклада «Ключевые технологические процессы для развития МЭМС в РФ»
д.т.н., профессор Тимошенков Сергей Петрович, директор Института НМСТ МИЭТ. Тема доклада: «Актуальные задачи разработки и производства МЭМС»
к.т.н., доцент Коломийцев Алексей Сергеевич, заведующий кафедрой нанотехнологий и микросистемной техники ЮФУ. Тема доклада «Взаимодействие ВУЗовских команд с предприятиями» (уточняется)
Манин Павел Александрович, руководитель отделения, филиал РФЯЦ-ВНИИЭФ «НИИИС им. Ю. Е. Седакова». Тема доклада «Возможности НИИИС в части создания микроэлектромеханических систем»