Круглый стол «Синхротронное излучение для задач микроэлектроники: от нанометрологии до рентгеновской литографии». НИЦ «Курчатовский институт»
р.
р.
Дата, время и место проведения уточняется
Организатор: НИЦ «Курчатовский институт»
Модератор:
д.т.н. Якунин Сергей Николаевич, первый заместитель Курчатовского комплекса синхротронно-нейтронных исследований НИЦ «Курчатовский институт»
Цели и задачи
Рассмотреть роль установок класса «мегасайенс» в реализации национальных проектов технологического лидерства.
Аннотация
Необходимо обсудить основные направления применения синхротронного излучения для задач отечественной микроэлектроники, метрологии и диагностики при создании электронной компонентной базы, исследований устройств наноэлектроники и спинтроники, развития литографии экстремального ультрафиолетового и рентгеновского диапазонов.
Приглашены к выступлению:
Чхало Николай Иванович, институт физики микроструктур РАН (название доклада будет представлено позже)
д.ф.-м.н., член-корреспондент РАН Рощупкин Дмитрий Валентинович, директор ФГБУН ИПТМ РАН (название доклада будет представлено позже)
Ранчин Сергей Олегович, НИЦ «Курчатовский институт» – НИИСИ (название доклада будет представлено позже)
Вопросы и темы, выносимые на обсуждение
Концепция развития технологий высокопроизводительной литографии экстремального и ультрафиолетового рентгеновского диапазонов на основе источников синхротронного излучения и лазеров на свободных электронах.
Синхротронная нанометрология и диагностика при создании электронной компонентной базы: методы, стандарты, потребности отрасли.