Презентация новой серии книг «Мир микроэлектроники» и первой книги в этой серии – «Технологии КМОП интегральных схем. Часть 1. От возникновения до нанометровых размеров элементов» Автор д.т.н. Шелепин Николай Алексеевич, НИУ МИЭТ. АО «РИЦ «ТЕХНОСФЕРА»

30 сентября, 15:00-16:30
Библиотека Университета «Сириус»

Организатор: АО «РИЦ «ТЕХНОСФЕРА»

Модератор:

• Арзуманян Каринэ Руслановна, директор книгоиздательских программ АО «РИЦ «ТЕХНОСФЕРА»

Цели и задачи

Издательство «ТЕХНОСФЕРА» совместно с НИУ МИЭТ запускает новую книжную серию: «Мир микроэлектроники». Редакционный совет серии возглавит академик РАН, д.т.н. Красников Геннадий Яковлевич. Заместитель председателя редакционного совета серии «Мир микроэлектроники» – академик РАН Чаплыгин Юрий Александрович. Цель нашей презентации – проинформировать сообщество о старте новой серии, книги которой обеспечат актуальными знаниями студентов и аспирантов соответствующих специальностей в области технологий современных интегральных схем, а для специалистов и руководителей промышленных и научных организаций станут хорошим справочным материалом и современной базой научно-технических знаний по всем разделам микроэлектроники.

Аннотация

В книге Н. А. Шелепина описаны технологические маршруты, то есть последовательность технологических операций, которые применялись и применяются в процессе обработки кремниевых пластин при производстве КМОП ИС от периода становления технологии до реализации глубокосубмикронных и нанометровых транзисторов. Особое внимание уделено развитию конструктивно-технологических методов формирования транзисторных структур, которые разрабатывались в процессе масштабирования технологии и обеспечили её развитие до нанометровых размеров элементов. В книге можно оперативно найти информацию, связанную с особенностями технологий изготовления КМОП СБИС различных технологических уровней.

Приглашены к выступлению:

• д.т.н. Шелепин Николай Алексеевич, НИУ МИЭТ
• академик РАН, д.т.н., проф. Горнев Евгений Сергеевич, заместитель руководителя приоритетного технологического направления по электронным технологиям, АО НИИМЭ
• Переверзев Леонид Евгеньевич, технический директор
• ООО «Альфачип»
• к.т.н. Наумов Аркадий Валерьевич, инженер АО «ОКБ» АСТРОН»
• к.т.н. Усачёв Николай Александрович, НИЯУ МИФИ / АО «ЭНПО СПЭЛС»
• член-корр. РАН, д.ф.-м.н. Рощупкин Дмитрий Валентинович, директор ФГБУН ИПТМ РАН
• д.ф.-м.н. Хренов Григорий Юрьевич технический директор АО «Байкал Электроникс»