Круглый стол «Современные требования промышленной чистоты в микроэлектронном производстве». НИЦ «Курчатовский институт»

Дата, время и место проведения уточняется

Организатор: НИЦ «Курчатовский институт»

Модераторы:

• Стельмак Светлана Евгеньевна, первый заместитель директора института информационных технологий Центра перспективной микроэлектроники НИЦ «Курчатовский институт»
• Козлов Анатолий Иванович, руководитель отделения микроэлектронных технологий Центра перспективной микроэлектроники НИЦ «Курчатовский институт»

Цели и задачи

Ознакомить слушателей с современными требованиями обеспечения чистоты навысокотехнологичных производствах микроэлектроники. Внести предложения о необходимости подготовки специалистов для работы в чистых производственных помещениях. Предложить курс обучения по технологической чистоте и особенностям работы в чистых производственных помещениях. А также обратить внимание на необходимость проведения испытаний фильтрующих материалов с эффективностью более 0,999999 на установке, которая будет создана в ИИТ ЦПМ НИЦ «Курчатовский институт».

Аннотация

Обеспечение технологической чистоты является неотъемлемой частью любого современного высокотехнологического производства, в том числе, в полупроводниковой промышленности. В основе обеспечения чистоты лежат основы фильтрации и тонкой очистки воздуха, методики и приборы для определения эффективности воздушных фильтров, конструкция и технология изготовления фильтров тонкой очистки воздуха, конструкции ЧПП. Важной составляющей явилась работа над комплексом международных стандартов ИСО 14644 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды», которые были приняты как стандарты ГОСТ Р ИСО.

Все эти стандарты успешно работают и являются основой правильной эксплуатации чистых помещений во всех отраслях промышленности, особенно, в микроэлектронике.

Нам хотелось бы привлечь внимание к необходимости подготовки специалистов по технологической чистоте в вузах и на специальных курсах и обеспечении технической литературой по этой теме. В НИЦ «Курчатовский институт» разработана программа создания учебной базы для подготовки специалистов в области технологической чистоты. Важно отметить, что в НИЦ «Курчатовский институт» созданы и опробованы не только учебные пособия по курсу технологической чистоты, а также реализован такой важный элемент обучения как подготовка учебников.

Приглашены к выступлению:

• Стельмак Светлана Евгеньевна, первый заместитель директора института информационных технологий ЦПМ НИЦ «Курчатовский институт». Тема доклада «Технология чистоты в микроэлектронике»
• Козлов Анатолий Иванович, руководитель отделения микроэлектронных технологий Центра перспективной микроэлектроники НИЦ «Курчатовский институт». Тема доклада «Современные требования к созданию чистых помещений»
• Абрамов Андрей Михайлович, директор ООО «АДМ». Тема доклада «Концептуальные различия чистых помещений для различных высокотехнологических отраслей промышленности»
• Представитель АО «Микрон» (выступающий и тема доклада уточняются)
• Представитель филиала ФГУП «РФЯЦ-ВНИИЭФ» НИИИС
• им. Ю. Е. Седакова» (выступающий и тема доклада уточняются)

Вопросы и темы, выносимые на обсуждение, будут интересны как представителям научного сообщества, так и специалистам производственных компаний: АО «НПП «Исток им. Шокина», АО «Микрон», АО «НИИМЭ», АО «НПО «Пульсар» и другим микроэлектронным фабрикам России.