ОПИСАНИЕ СЕКЦИИ

Данная секция охватывает вопросы разработки, свойств, применения и производства газообразных, жидких и твёрдых высокочистых материалов, используемых при производстве изделий и компонентов микро- и наноэлектроники в технологических процессах изготовления полупроводниковых приборов, интегральных микросхем и МЭМС различного назначения; а также перспективных материалов для производства высокочистых полупроводниковых и оптических кристаллов, проводников и высокотемпературных сверхпроводников; новых материалов для применения в литографических процессах и оборудовании; материалов для корпусов и защитных покрытий.

МОДЕРАТОРЫ СЕКЦИИ

Бокарев Валерий Павлович,
АО «НИИМЭ», доктор технических наук

Рощупкин Дмитрий Валентинович,
Директор ФГБУН ИПТМ РАН, доктор физико-математических наук, член-корреспондент РАН

РЕГИСТРАЦИЯ