АО «Научно-исследовательский институт точного машиностроения» – многолетний партнёр Российского форума «Микроэлектроника». АО НИИТМ, входящее в Группу компаний «Элемент», является одним из ведущих производителей СТО в России. Институт – единственное в стране предприятие, создающее кластерные комплексы для обработки пластин диаметром 200 и 300 мм. Сегодня ключевой вектор работы НИИТМ – разработка и производство серии установок для обработки пластин диаметром 200 мм, совместимых с диаметрами 100 и 150 мм.
Создание собственного оборудования – один из ключевых факторов технологического суверенитета в микроэлектронике.
«Сложившаяся ситуация способствует тому, чтобы предприятия электронной промышленности улучшили текущие показатели и всерьез задумались о разработке нового оборудования», – подчеркнул генеральный директор АО НИИТМ
Михаил Бирюков.
Эксперты компании на заседании
секции №9 «Специальное технологическое оборудование» научной конференции
«ЭКБ и электронные модули» представят доклады, отражающие текущий статус и результаты разработки импортозамещающих видов СТО.
АО НИИТМ проведет круглый стол «Актуальные вопросы развития отечественного электронного машиностроения», где участники обсудят реализацию программы «Развитие электронного машиностроения до 2030 года» и ключевые вызовы, стоящие перед разработчиками и производителями технологического и контрольно-измерительного оборудования. Модераторами выступят Бирюков М. Г. (АО НИИТМ), Алексеев А. Н. (АО «НТО») и Львов А. С. (АО «МНТЦ МИЭТ»).
На выставке Российского форума «Микроэлектроника 2025» АО НИИТМ представит макет кластерного комплекса плазмохимического травления (ПХТ) собственной разработки. Система предназначена для обработки кремниевых пластин диаметром 300 мм с возможностью адаптации под 200 мм. Это первая в России кластерная установка ПХТ для пластин 300 мм, состоящая из четырех модулей и транспортной системы для плазмохимического травления из газовой фазы.
Сайт АО НИИТМ:
niitm.ruМатериал подготовлен пресс-службой Российского форума «Микроэлектроника»