Оставьте заявку
Оставьте заявку и мы с вами свяжемся
Нажимая на кнопку вы даете согласие на обработку персональных данных. Политика конфиденциальности
Мы используем cookie файлы, как и большинство сайтов в интернете. Гарантируем сохранность ваших персональных данных.
СЕКЦИЯ №9
Специальное технологическое оборудование
24–26 сентября 2025
Университет «Сириус» Зал №9
Университет «Сириус» Зал №9
Руководитель секции
Заместитель руководителя секции
Программа Секции №9
В программе возможны изменения
В программе возможны изменения
24 сентября 2025
09:00-09:20
Тенденции развития оборудования для выращивания монокристаллов карбида кремния
член-корр. РАН, д.т.н. Бородин Владимир Алексеевич, АО «ЭЗАН»
член-корр. РАН, д.т.н. Бородин Владимир Алексеевич, АО «ЭЗАН»
09:20-09:40
Анализ конструктивных решений оптико-механического оборудования ОАО «Планар» для работы с SIC-пластинами
к.т.н. Плебанович Владимир Иванович, ОАО «Планар»
к.т.н. Плебанович Владимир Иванович, ОАО «Планар»
09:40-10:00
Отечественная система автоматизации технологического процесса установки эпитаксии карбида кремния на подложках диаметром до 150 мм методом химического газофазного осаждения (CVD)
Барков Валерий Николаевич, АО «ЭЗАН»
Барков Валерий Николаевич, АО «ЭЗАН»
10:00-10:20
Очистители газов в точке использования как фактор повышения выхода годных в микроэлектронике
к.х.н. Попенко Виталий Федорович, ООО «ЭЛТОЧПРИБОР»
к.х.н. Попенко Виталий Федорович, ООО «ЭЛТОЧПРИБОР»
10:20-10:40
Реализация разработки производственно-ориентированного отечественного эпитаксиального и планарного оборудования для материалов А3В5
к.ф.-м.н. Петров Станислав Игоревич, АО «НТО»
к.ф.-м.н. Петров Станислав Игоревич, АО «НТО»
10:40-11:00
Особенности конструкции полировальной головы, используемой в оборудовании для химико-механической планаризации слоев диэлектрика и металла
Плотников Дмитрий Сергеевич, АО «Нанотроника»
Плотников Дмитрий Сергеевич, АО «Нанотроника»
11:00-11:30
КОФЕ-БРЕЙК
11:30-11:50
Развитие линейки отечественных регуляторов расхода реагентов для повышения стабильности работы технологического оборудования
к.т.н. Сажнев Сергей Викторович, ООО «ЭЛТОЧПРИБОР»
к.т.н. Сажнев Сергей Викторович, ООО «ЭЛТОЧПРИБОР»
11:50-12:10
Горизонтальные МОС-гидридные реакторы. Развитие концепции и кооперации
к.ф.н. Лундин Всеволод Владимирович, ООО «Монолюм»
к.ф.н. Лундин Всеволод Владимирович, ООО «Монолюм»
12:10-12:30
Разработка установки электронно-лучевой литографии
Шаталин Алексей Андреевич, АО «НПП «ЭСТО»
Шаталин Алексей Андреевич, АО «НПП «ЭСТО»
12:30-12:50
Анализ современных кластерных установок азиатского рынка для проведения технологических операций с тонкими пленками на полупроводниковых пластинах
Соболев Александр Михайлович, АО Контракт Холдинг
Соболев Александр Михайлович, АО Контракт Холдинг
13:00-15:00
ОБЕД
25 сентября 2025
09:00-09:20
Разработка отечественного оборудования ионной имплантации для полупроводникового производства: текущий статус
Третьяков Евгений Викторович, АО НИИТМ
Третьяков Евгений Викторович, АО НИИТМ
09:20-09:40
Статус разработки ионных ускорителей для среднетокового и высокоэнергетического имплантеров
к.ф.н. Старостенко Александр Анатольевич, ИЯФ СО РАН
к.ф.н. Старостенко Александр Анатольевич, ИЯФ СО РАН
09:40-10:00
Испытания технологических модулей кластерных комплексов плазмохимического травления и осаждения для пластин диаметром 300/200 мм
Ерицян Георгий Спартакович, АО НИИТМ
Ерицян Георгий Спартакович, АО НИИТМ
10:00-10:20
Разработка технологического модуля установки высокотемпературной активации примеси для обработки пластин при температуре до 2000 °С ООО «САВТЭК»
Зюбер Денис Игоревич, ООО «САВТЭК»
Зюбер Денис Игоревич, ООО «САВТЭК»
10:20-10:40
Расширение библиотеки базовых технологических процессов, реализуемых на отечественном технологическом оборудовании для производства ЭКБ
Новиков Сергей Андреевич, АО «НТО»
Новиков Сергей Андреевич, АО «НТО»
10:40-11:00
Магнетронные распылительные системы со сканирующими магнитными полями: современное состояние и перспективы внедрения в отечественное оборудование
Черкунов Виктор Игоревич, АО НПП «ЭСТО»
Черкунов Виктор Игоревич, АО НПП «ЭСТО»
11:00-11:30
КОФЕ-БРЕЙК
11:30-11:50
О синергии разработки мощных IGBT-транзисторов и диодов и тестеров FORMULA® TXI для метрологического обеспечения функциональных испытаний новейших полупроводниковых приборов
Постников Александр Сергеевич, ООО «ФОРМ»
Постников Александр Сергеевич, ООО «ФОРМ»
11:50-12:10
Разработка установки измерения рассовмещения технологических слоёв на кремниевых пластинах диаметром 200 мм
Дон Алексей Константинович, АО «Нанотроника»
Дон Алексей Константинович, АО «Нанотроника»
12:10-12:30
Состояние и перспективы разработки оборудования для зондового контроля кристаллов на пластине
Малышев Роман Анатольевич, Совтест АТЕ
Малышев Роман Анатольевич, Совтест АТЕ
12:30-12:50
Вакуумные измерения в электронном машиностроении
к.т.н. Тетерук Роман Анатольевич, ФГУП «ВНИИМ им. Д. И.Менделеева»
к.т.н. Тетерук Роман Анатольевич, ФГУП «ВНИИМ им. Д. И.Менделеева»
13:00-15:00
ОБЕД
26 сентября 2025
09:00-09:20
Дорожная карта развития модульного АТЕ FORMULA® RXI на основе российского стандарта тестеростроения RXI
Бахвалов Павел Александрович, ООО «ФОРМ»
Бахвалов Павел Александрович, ООО «ФОРМ»
09:20-09:40
Проектирование специальных инженерных сетей для Специального Технологического Оборудования, применяемого для Кристального Производства.
Ткешелашвили Гиви Джимшерович, ООО «АДМ СпецРТ»
Ткешелашвили Гиви Джимшерович, ООО «АДМ СпецРТ»
09:40-10:00
Инспекция проводников распайки кристалла на подложке
Вертопрахов Виктор Владимирович, АО «Нанотроника»
Вертопрахов Виктор Владимирович, АО «Нанотроника»
10:00-10:20
Разработка растрового электронного микроскопа для анализа дефектов
Гордиенко Александр Максимович, АО «Нанотроника»
Гордиенко Александр Максимович, АО «Нанотроника»
10:20-10:40
Применение машинного зрения в лазерных системах для задач микроэлектронной промышленности
Афонюшкин Андрей Андреевич, ООО «Лазерный центр»
Афонюшкин Андрей Андреевич, ООО «Лазерный центр»
10:40-11:00
Исследование процесса выращивания монокристаллов бета-оксида галлия β-Ga2O3 из расплава для приборов силовой электроники
Ушницкий Ян Иванович, АО «ЭЗАН»
Ушницкий Ян Иванович, АО «ЭЗАН»
11:00-11:30
КОФЕ-БРЕЙК
11:30-11:50
Развитие технологического оборудования для DUV и EUV фотолитографии в ходе производственных процессов микроэлектронной промышленности
Закшевский Родион Викторович, АО «Завод ПРОТОН»
Закшевский Родион Викторович, АО «Завод ПРОТОН»
11:50-12:10
Практический опыт производства технологического оборудования для предприятий микроэлектроники
Фролов Георгий Юрьевич, ТБС
Фролов Георгий Юрьевич, ТБС
12:10-12:30
Технологические решения для прецизионного монтажа кристаллов в условиях ограниченного доступа к западному оборудованию
Богословский Вячеслав Александрович, ООО «ЕВРОИНТЕХ»
Богословский Вячеслав Александрович, ООО «ЕВРОИНТЕХ»
12:30-12:50
Современные подходы к одностороннему утонению кремниевых пластин с сохранением прецизионных структур
Якухина Анастасия Владимировна, ООО «ИТЦ ЗАТВОР»
Якухина Анастасия Владимировна, ООО «ИТЦ ЗАТВОР»
13:00-15:00
ОБЕД
Заочный доклад
Исследование подложек ScAlMgO4 для эпитаксиального роста GaN и ZnO
Загоскин Максим Олегович, ООО «ОСТЕК-ЭК»
Загоскин Максим Олегович, ООО «ОСТЕК-ЭК»
Заочный доклад
Оптимизация теплового поля в установке выращивания монокристаллов карбида кремния большого диаметра
Белых Артем Игоревич, ООО «ОСТЕК-ЭК»
Белых Артем Игоревич, ООО «ОСТЕК-ЭК»
Cекция №9 «Специальное технологическое оборудование» охватывает тематику технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства электронной компонентной базы. Создание конкурентоспособной ЭКБ невозможно без современного специального технологического оборудования с высокой степенью автоматизации, которое и обеспечивает заданные характеристики конечных приборов. Исследования, разработка и производство технологического оборудования является неотъемлемой частью общего развития микроэлектроники в России. Работа секции будет направлена на формирование перспективных направлений в исследованиях и разработках технологического оборудования для создания современной ЭКБ.