АО НИИТМ специализируется на разработке и производстве специального технологического оборудования (входит в ГК «Элемент»). На выставке будут показаны проекты, выполненные в рамках программы РФ «Развитие электронного машиностроения до 2030 года», а также локализованные компоненты оборудования собственного производства.
На стенде представят макет кластерного комплекса плазмохимического травления (ПХТ) для обработки кремниевых пластин диаметром 300 мм с возможностью адаптации под пластины 200 мм. Это первая в России кластерная установка ПХТ для 300 мм пластин, поддерживающая технологии 65/45/28 нм. Комплекс включает четыре модуля и транспортную систему для газофазного травления. Также будут показаны макеты вакуумно-плазменных и физико-термических установок для применения в нано- и микроэлектронике, медицине и солнечной энергетике.
В рамках выставки планируется презентация новых проектов, реализованных согласно государственной программе развития электронного машиностроения, а также демонстрация локализованных компонентов специального технологического оборудования.
Решения НИИТМ представляют особый интерес для производителей электронных компонентов, требующих высокоавтоматизированного оборудования, а также для научно-исследовательских центров, занимающихся разработкой новых технологий.
Сайт компании:
https://niitm.ru