АО «НТО» – ведущий российский разработчик и производитель специального технологического оборудования для создания СВЧ-электроники и фотоники. Более 25 лет компания выпускает эпитаксиальное оборудование для выращивания гетероструктур на основе материалов А3В5, A2B6 и А3N, а также установки для формирования тонкопленочных структур на полупроводниковых пластинах.
АО «НТО» располагает собственной конструкторской и производственной базой, а также прикладной лабораторией, которая обеспечивает технологическое тестирование и апробацию оборудования, разработку и постановку базовых технологических процессов. Высокая степень локализации производства комплектующих и ключевых узлов позволяет обеспечивать импортонезависимость решений, оперативную сервисную и гарантийную поддержку.
На выставке АО «НТО» представит макет производственно-ориентированной двухреакторной установки молекулярно-лучевой эпитаксии для выращивания соединений CdHgTe на подложках диаметром 150 мм, разработка которой была завершена в 2026 году.
Ключевые узлы установки для работы с материалами CdHgTe, включая источник и систему сбора ртути, специально разработаны и протестированы в ИФП СО РАН. Установка обеспечивает возможность выращивания дихалькогенидов переходных металлов. Проект реализован при поддержке Минпромторга России.
Кроме того, компания анонсирует выпуск в 2026 году установки молекулярно-лучевой эпитаксии для выращивания соединений на основе InAlGaAsSb для получения гетероструктур фотоприёмной техники и СВЧ-микроэлектроники, а также серии установок для плазмохимической обработки пластин диаметром до 150 мм и производственно-ориентированных установок физического осаждения.
Всего до конца года АО «НТО» представит 6 новых моделей специального технологического оборудования. На стенде специалисты проведут консультации, ответят на вопросы и обсудят технические возможности и перспективы сотрудничества. Продукция ориентирована на разработчиков и производителей ЭКБ СВЧ, оптоэлектроники и фотоники, а также на научные и образовательные организации.
Сайт:
https://www.semiteq.ru/