Компания осуществляет поставку вакуумно-плазменных и физико-термических установок, а также кластерных комплексов на их основе, для реализации технологических процессов нано-, микро- и радиоэлектроники, медицины, солнечной энергетики.
НИИТМ – один из ключевых разработчиков и значимый исполнитель комплексной программы «Развитие электронного машиностроения до 2035 года». Сегодня при поддержке Минпромторга России компания самостоятельно и в кооперации с партнёрами осуществляет ряд проектов по разработке перспективного оборудования. В их числе: две установки для процессов химического осаждения из газовой фазы, оборудование ионной имплантации, а также установка высокотемпературной активации примеси. В 2026 году дан старт разработке кластерного комплекса нанесения слоев алюминиевой металлизации методом вакуумного напыления на пластинах диаметром 200 мм.
На Российском форуме «Микроэлектроника 2026»
представители компании примут участие в научной конференции «ЭКБ и микроэлектронные модули» в
рамках секции №9 «Электронное машиностроение» и продемонстрируют новую разработку на
выставке.
На заседании секции эксперты НИИТМ представят доклады, в которых отразят основные результаты разработки новых видов технологического оборудования и расскажут о современном вакуумном оборудовании для нанесения тонких плёнок различных материалов методами физического распыления.
Также на базе
секции №9 будет организован круглый стол «Актуальные вопросы развития отечественного электронного машиностроения». Его участники обсудят текущее состояние и перспективы развития направления в контексте реализации комплексной программы «Развитие электронного машиностроения до 2035 года». Модераторами круглого стола выступят Бирюков Михаил Георгиевич (АО НИИТМ) и Алексеев Алексей Николаевич (АО «НТО»).
На стенде №82 выставки команда НИИТМ представит посетителям выставки опытный образец SMIF-загрузчика полупроводниковых пластин собственной разработки. Модуль соответствует стандартам SEMI и предназначен для применения в составе технологического оборудования для автоматизации загрузки-выгрузки пластин диаметром 200 мм с использованием SMIF-контейнера. SMIF-загрузчик может быть использован не только в составе оборудования НИИТМ, но и в качестве замены вышедших из строя импортных аналогов. Специалисты компании также ответят на вопросы посетителей стенда и подробнее расскажут о текущих разработках и проектах.
Сайт компании
niitm.ru