Микросистемы. Сенсоры и актюаторы

Cекция №8 «Микросистемы. Сенсоры и актюаторы» охватывает вопросы, связанные с исследованиями, разработками и технологиями изготовления изделий микросистемной техники, микросборок и микроэлектронных модулей уровня «система в корпусе».

Основные тематики работы секции:

— разработка и технологии производства инерциальных МЭМС и ЭМ (акселерометры, гироскопы, инклинометры, БИНС);

— разработка и технологии производства ВЧ МЭМС и актюаторов (ВЧ и СВЧ переключатели, генераторы, микроактюаторы);

— разработка и технологии создания оптических МЭМС и микрофотоники (оптические переключатели, микрозеркала, микроболометры, модуляторы, кольцевые резонаторы);

— разработка и технологии производства акустических микросистем (акустические фильтры, микрофоны);

— разработка и технологии производства преобразователей магнитного поля и магнитометрических микросистем на их основе;

— разработка и технологии производства МЭМС для мониторинга состояния окружающей среды и биохимического анализа (датчики давления, датчики газа, датчики влажности микрофлюидные датчики);

— технологии проектирования и производства микросборок, многокристальных модулей и электронных модулей уровня «система в корпусе» (2,5D и 3D интеграция, встроенный монтаж бескорпусных микросхем и пассивных компонентов, TSV, интерпозеры, корпусирование кристаллов на уровне пластин).