Оставьте заявку
Оставьте заявку и мы с вами свяжемся
Нажимая на кнопку вы даете согласие на обработку персональных данных. Политика конфиденциальности
Мы используем cookie файлы, как и большинство сайтов в интернете. Гарантируем сохранность ваших персональных данных.
СЕКЦИЯ №8
Микросистемы. Сенсоры и актюаторы
24–26 сентября 2025
Университет «Сириус» Зал №8
Университет «Сириус» Зал №8
Руководитель секции
Заместитель руководителя секции
Программа Секции №8
В программе возможны изменения
В программе возможны изменения
24 сентября 2025
09:00-09:20
Перспективы развития малогабаритных многофункциональных МЭМС
д.т.н., проф., Тимошенков Сергей Петрович, НМСТ НИУ МИЭТ
д.т.н., проф., Тимошенков Сергей Петрович, НМСТ НИУ МИЭТ
09:20-09:40
Применение полупроводниковых детекторов ионизирующего излучения для создания приборов нового поколения
Яшин Владимир Сергеевич, ООО «СофтЭксперт»
Яшин Владимир Сергеевич, ООО «СофтЭксперт»
09:40-10:00
Высокоточные чувствительные элементы на основе кварцевых камертонов
д.т.н., проф., Богословский Сергей Владимирович, АО «НПП «Радар ммс»
д.т.н., проф., Богословский Сергей Владимирович, АО «НПП «Радар ммс»
10:00-10:20
Разработка микроэлектромеханических логических вентилей
Соловьев Александр Анатольевич, РТУ МИРЭА
Соловьев Александр Анатольевич, РТУ МИРЭА
10:20-10:40
Конструктивно-технологическое решение для создания многослойного керамического модуля с безопасной передачей данных на основе интегрированных трансформаторов и оптических линий связи
Косевской Владимир Анатольевич, АО «НПЦ СпецЭлектронСистемы»
Косевской Владимир Анатольевич, АО «НПЦ СпецЭлектронСистемы»
10:40-11:00
Микромеханический СВЧ-переключатель с контактом металл-металл
к.ф.н. Уваров Илья Владимирович, НИЦ «Курчатовский институт», ЯрГУ им. П. Г. Демидова
к.ф.н. Уваров Илья Владимирович, НИЦ «Курчатовский институт», ЯрГУ им. П. Г. Демидова
11:00-11:30
КОФЕ-БРЕЙК
11:30-11:50
Разработка МЭМС-сенсоров физических величин на основе тонкопленочных термопар
к.ф.н. Чиненков Максим Юрьевич, МИЭТ
к.ф.н. Чиненков Максим Юрьевич, МИЭТ
11:50-12:10
Механика ультратонких элементов МЭМС
к.ф.н. Дюжев Николай Алексеевич, ЦКП «МСТ и ЭКБ» МИЭТ
к.ф.н. Дюжев Николай Алексеевич, ЦКП «МСТ и ЭКБ» МИЭТ
12:10-12:30
Резонатор на основе одиночного наностержня ZnO
Криштоп Владимир Григорьевич, АО «ИнфоТеКС»
Криштоп Владимир Григорьевич, АО «ИнфоТеКС»
12:30-12:50
Сборка печатных плат: от огромных до миниатюрных. Проблемы и их решения
Савченко Владимир Вячеславович, HEART.ZONE LLC
Савченко Владимир Вячеславович, HEART.ZONE LLC
13:00-15:00
ОБЕД
25 сентября 2025
09:00-09:20
Разработка двойной фотолитографии для формирования многоуровневых отверстий в MEMS-структурах
Платонов Данил Дмитриевич, ООО «МАППЕР»
Платонов Данил Дмитриевич, ООО «МАППЕР»
09:20-09:40
Аддитивные технологии в разработке и производстве МЭМС, электронных устройств и компонентов средств и производства
Антонов Дмитрий Николаевич, ООО «Онсинт»
Антонов Дмитрий Николаевич, ООО «Онсинт»
09:40-10:00
Синтез нелинейных моделей пониженного порядка в задачах проектирования Н/МЭМС
к.ф.н. Лукин Алексей Вячеславович, Высшая школа механики и процессов управления, ФизМех, СПбПУ
к.ф.н. Лукин Алексей Вячеславович, Высшая школа механики и процессов управления, ФизМех, СПбПУ
10:00-10:20
Микронасос на основе электрохимического мембранного актюатора
Шлепаков Павел Сергеевич, ЦНИТ-Ярославль ОФТИ им. К.А. Валиева, НИЦ «Курчатовский институт»
Шлепаков Павел Сергеевич, ЦНИТ-Ярославль ОФТИ им. К.А. Валиева, НИЦ «Курчатовский институт»
10:20-10:40
Селективное травления SiO2 к Si3N4 в гидрофторуглеродной плазме CHF3 + Ar с добавлением O2 для МОЭМС применения
Дятлов Владимир Денисович, ООО «МАППЕР»
Дятлов Владимир Денисович, ООО «МАППЕР»
10:40-11:00
Мелкосерийная широкономенклатурная технология изготовления керамических сенсоров и актюаторов
к.т.н. Самотаев Николай Николаевич, НИЯУ МИФИ
к.т.н. Самотаев Николай Николаевич, НИЯУ МИФИ
11:00-11:30
КОФЕ-БРЕЙК
11:30-11:50
Исследование и разработка матричного МЭМС-преобразователя для устройств машинного обоняния
Николаева Анастасия Владимировна, НПК «Технологический центр»
Николаева Анастасия Владимировна, НПК «Технологический центр»
11:50-12:10
Матричные микромеханические зеркала: результаты исследований и перспективы применения в системах адаптивной оптики
к.т.н. Козлов Дмитрий Владимирович, АО «Российские космические системы»
к.т.н. Козлов Дмитрий Владимирович, АО «Российские космические системы»
12:10-12:30
Разработка технологии создания многоуровневых микроэлектромеханических систем
к.т.н. Баклыков Дмитрий Алексеевич, НОЦ ФМН (МГТУ им. Н. Э. Баумана и ВНИИА им. Н. Л Духова)
к.т.н. Баклыков Дмитрий Алексеевич, НОЦ ФМН (МГТУ им. Н. Э. Баумана и ВНИИА им. Н. Л Духова)
12:30-12:50
Алмазные акустоэлектронные устройства с операционными частотами СВЧ и КВЧ диапазонов для систем мобильной связи, радиолокации и сенсоров
д.ф.-м.н., проф., Сорокин Борис Павлович, НИЦ «Курчатовский институт»
д.ф.-м.н., проф., Сорокин Борис Павлович, НИЦ «Курчатовский институт»
13:00-15:00
ОБЕД
26 сентября 2025
09:00-09:20
Электрофизические характеристики структур «металл-диэлектрик-полупроводник» и их влияние на чувствительность и быстродействие газовых МДП-сенсоров
к.т.н. Самотаев Николай Николаевич, НИЯУ МИФИ
к.т.н. Самотаев Николай Николаевич, НИЯУ МИФИ
09:20-09:40
Двухканальный акустический датчик фазовых переходов «жидкость-пар» и «жидкость-лед»
Воронова Наталья Владимировна, АО «НИИМЭ»
Воронова Наталья Владимировна, АО «НИИМЭ»
09:40-10:00
Технология тонкопленочной инкапсуляции элементов МЭМС
к.т.н. Коломийцев Алексей Сергеевич, ЮФУ
к.т.н. Коломийцев Алексей Сергеевич, ЮФУ
10:00-10:20
Исследование особенностей взаимного расположения в пространстве пары магниторезистивных преобразователей тока
Литвиненко Эдуард Олегович, АО «ЗНТЦ»
Литвиненко Эдуард Олегович, АО «ЗНТЦ»
10:20-10:40
Ресэмплинговый метод прогнозирования выхода годных изделий в технологии МЭМС
к.т.н. Суздальцев Сергей Юрьевич, ФГУП ЦНИИХМ
к.т.н. Суздальцев Сергей Юрьевич, ФГУП ЦНИИХМ
10:40-11:00
Цифровой микросистемный АМР-магнитометр ММ-3 для систем ориентации и навигации
к.т.н. Баранов Александр Александрович, ФГУП ЦНИИХМ
к.т.н. Баранов Александр Александрович, ФГУП ЦНИИХМ
11:00-11:30
КОФЕ-БРЕЙК
11:30-11:50
Технология создания встречно-штыревого кремниевого актюатора с боковым движением методом глубокого анизотропного ионного травления
к.т.н. Обижаев Денис Юрьевич, ФГУП ЦНИИХМ
к.т.н. Обижаев Денис Юрьевич, ФГУП ЦНИИХМ
11:50-12:10
Электрохимическое конструирование гибких сенсоров на основе диоксида марганца для бесферментного определения глюкозы
к.х.н. Филимоненков Иван Сергеевич, НИЦ «Курчатовский институт»
к.х.н. Филимоненков Иван Сергеевич, НИЦ «Курчатовский институт»
12:10-12:30
Технологические проблемы изготовления массива термочувствительных элементов по МЭМС-технологии с критическим минимальным размером менее 300 нм
Мелехин Максим Алексеевич, ООО «МАППЕР»
Мелехин Максим Алексеевич, ООО «МАППЕР»
12:30-12:50
Исследование технологии травления жертвенных слоев в МЭМС-структурах микроболометрических матричных детекторов
Бетрозов Сослан Батразович, АО «ОКБ «АСТРОН»
Бетрозов Сослан Батразович, АО «ОКБ «АСТРОН»
12:50-13:00
Обсуждение
13:00-15:00
ОБЕД
Cекция №8 «Микросистемы. Сенсоры и актюаторы» охватывает вопросы, связанные с исследованиями, разработками и технологиями изготовления изделий микросистемной техники, микросборок и микроэлектронных модулей уровня «система в корпусе».
Основные тематики работы секции:
— разработка и технологии производства инерциальных МЭМС и ЭМ (акселерометры, гироскопы, инклинометры, БИНС);
— разработка и технологии производства ВЧ МЭМС и актюаторов (ВЧ и СВЧ переключатели, генераторы, микроактюаторы);
— разработка и технологии создания оптических МЭМС и микрофотоники (оптические переключатели, микрозеркала, микроболометры, модуляторы, кольцевые резонаторы);
— разработка и технологии производства акустических микросистем (акустические фильтры, микрофоны);
— разработка и технологии производства преобразователей магнитного поля и магнитометрических микросистем на их основе;
— разработка и технологии производства МЭМС для мониторинга состояния окружающей среды и биохимического анализа (датчики давления, датчики газа, датчики влажности микрофлюидные датчики);
— технологии проектирования и производства микросборок, многокристальных модулей и электронных модулей уровня «система в корпусе» (2,5D и 3D интеграция, встроенный монтаж бескорпусных микросхем и пассивных компонентов, TSV, интерпозеры, корпусирование кристаллов на уровне пластин).
Основные тематики работы секции:
— разработка и технологии производства инерциальных МЭМС и ЭМ (акселерометры, гироскопы, инклинометры, БИНС);
— разработка и технологии производства ВЧ МЭМС и актюаторов (ВЧ и СВЧ переключатели, генераторы, микроактюаторы);
— разработка и технологии создания оптических МЭМС и микрофотоники (оптические переключатели, микрозеркала, микроболометры, модуляторы, кольцевые резонаторы);
— разработка и технологии производства акустических микросистем (акустические фильтры, микрофоны);
— разработка и технологии производства преобразователей магнитного поля и магнитометрических микросистем на их основе;
— разработка и технологии производства МЭМС для мониторинга состояния окружающей среды и биохимического анализа (датчики давления, датчики газа, датчики влажности микрофлюидные датчики);
— технологии проектирования и производства микросборок, многокристальных модулей и электронных модулей уровня «система в корпусе» (2,5D и 3D интеграция, встроенный монтаж бескорпусных микросхем и пассивных компонентов, TSV, интерпозеры, корпусирование кристаллов на уровне пластин).