Технологии и компоненты микро- и наноэлектроники

Секция №4 «Технологии и компоненты микро- и наноэлектроники» охваты­вает тематику технологий и компонен­тов микро- и на­ноэлектроники:
— технологии изготовления интегральных микросхем;
— технологии изготовления полупроводниковых приборов;
— компоненты интегральных микросхем;
— применение новых материалов в технологии изготовления микросхем и полупроводниковых приборов;
— технологические процессы в технологии интегральных микросхем и полупроводниковых приборов;
— технологии интеграции элементов кремниевых ИС и СВЧ компонентов А3В5;
— электрофизические характеристики компонентов интегральных микросхем и полупроводниковых приборов.