ОПИСАНИЕ СЕКЦИИ
Данная секция охватывает тематику технологий и компонентов микро- и наноэлектроники:
— технологии изготовления интегральных микросхем;
— технологии изготовления полупроводниковых приборов;
— компоненты интегральных микросхем;
— применение новых материалов в технологии изготовления микросхем и полупроводниковых приборов;
— технологические процессы в технологии интегральных микросхем и полупроводниковых приборов;
— технологии интеграции элементов кремниевых ИС и СВЧ компонентов А3В5;
— электрофизические характеристики компонентов интегральных микросхем и полупроводниковых приборов.
МОДЕРАТОРЫ СЕКЦИИ

Шелепин Николай Алексеевич,
доктор технических наук, профессор,
АО «НИИМЭ»

Путря Михаил Георгиевич,
доктор технических наук, профессор,
НИУ МИЭТ

Егоров Антон Юрьевич,
член-корр. РАН, д.ф.-м.н., проф.,
ООО «Коннектор Оптикс»
